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聚焦于高纯气体，稳定同位素，金属化合物和高纯化学品等化工新材料的供应和销售
Arsine - 砷烷 - ( AsH3 )
砷烷_WECHEM_SH_MSDS.pdf 资料下载砷化氢是一种剧毒，易燃，无色，有类似大蒜气味的气体。气味是主观的，因此不可靠的，而不应被用于检测气体的存在。在其蒸汽压力下作为液化性气体运输。
| 规格 | ||
| 纯度，% | 99.999 | 99.9999 |
| 氧气 | ≤1.0 ppmv | ≤ 40 ppbv |
| 氮气 | ≤2.0 ppmv | ≤ 250 ppbv |
| 二氧化碳 | ≤ 0.5ppmv | ≤ 40 ppbv |
| 一氧化碳 | ≤ 0.1ppmv | ≤ 10ppbv |
| 水分 | ≤ 0.5 ppmv | ≤ 350 ppbv |
| C1-C2 | ≤ 2.0 ppmv | ≤ 500 ppbv |
| 锗烷 | ≤ 50 ppbv | |
| 硫化氢 | ≤ 50 ppbv | |
| 运输 | ||
| DOT 运输名称 | 砷烷 | |
| DOT 分类 | 2.3 (2.1) 毒气 | |
| DOT 标签 | 毒气/呼吸危害, 可燃气体 | |
| UN NO. | UN 2188 | |
| CAS No. | 7784-42-1 | |
| CGA/DISS/JIS | 350/632/W22-14L | |
| 运输状态 | 液化气体 | |
| 技术信息 | ||
| 钢瓶状况 @ 21.1°C | 液体 | |
| 在空气中的燃烧极限 | 5.1-78% | |
| 自然温度 (°C ) | - | |
| 分子量 (g/mol) | 77.95 | |
| 比重 ( 空气 =1) | 2.695 | |
| 临界温度 ( °C ) | 99.85 | |
| 临界温度 ( psig ) | 985.3 | |
| 应用 | ||
| 1. 在半导体制造中，胂是外延硅的一种n型掺杂剂（通常与氢混合）。 2. 对于硅片的掺杂选定区域，通过沉积/扩散技术，形成浅结构，例如发射器或源漏接触 （通常是ppm 级到百分比级，氮气是平衡气 ）。 3. 采用离子注入，在选定区域掺杂 （通常与氢混合）。 4. 参与许多化学反应。 | ||