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Halocarbon 23 - Trifluoromethane - 三氟甲烷 ( CHF3 )
三氟甲烷_WECHEM_SH_MSDS.pdf 资料下载三氟甲烷是一种无色，不燃的液化性气体。在其自身蒸汽压力下作为一种液化性气体运输。
| 规格 | ||
| 纯度 , % | 99.9 | 99.999 |
| 氧气 | ≤80 ppmv | ≤1.0 ppmv |
| 氮气 | ≤300 ppmv | ≤4.0 ppmv |
| 二氧化碳 | ≤50 ppmv | ≤0.5 ppmv |
| 一氧化碳 | ≤30 ppmv | ≤0.5 ppmv |
| 甲烷 | ≤30 ppmv | ≤0.5 ppmv |
| 其他有机物 | ≤400ppmv | ≤2.0 ppmv |
| 水分 | ≤10.0 ppmv | ≤2.0 ppmv |
| 酸度 as HCL | ≤1.0 ppmv | ≤0.1 ppmv |
| 运输 | ||
| DOT 运输名称 | 三氟甲烷 | |
| DOT 分类 | 2.2 | |
| DOT 标签 | 不可燃气体 | |
| UN NO. | UN 1984 | |
| CAS No. | 75-46-7 | |
| CGA/DISS/JIS | 660/716/W22-14L | |
| 运输状态 | 液化性气体 | |
| 技术信息 | ||
| 钢瓶状况 @ 21.1°C | 液体 | |
| 在空气中的燃烧极限 | 不可燃 | |
| 自然温度 (°C ) | 不可燃 | |
| 分子量 (g/mol) | 70 | |
| 比重 ( 空气 =1) | 2.436 | |
| 临界温度 ( °C ) | 178.43 | |
| 临界温度 ( psig ) | 686.719 | |
| 应用 | ||
1. 三氟甲烷是使用在氧化硅或氮化硅层的等离子蚀刻 2. CHF3是一个低温制冷剂,用于替换R22 | ||