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Halocarbon 41 - Methyl Fluoride - 一氟甲烷 - ( CH3F )
一氟甲烷_WECHEM_SH_MSDS.pdf 资料下载一氟甲烷在标准温度和压力下，无毒，液化的可燃性气体。
| 规格 | ||
| 纯度 , % | 99.99 | 99.995 |
| 氧气 | ≤20 ppbv | ≤5 ppmv |
| 氮气 | ≤70 ppbv | ≤20 ppmv |
| 二氧化碳 | ≤10 ppmv | |
| 一氧化碳 | ≤10 ppmv | |
| 甲烷 | ≤5 ppmv | |
| 水分 | ≤10 ppbv | ≤2 ppmv |
| 运输 | ||
| DOT 运输名称 | 一氟甲烷 | |
| DOT 分类 | 2.1 | |
| DOT 标签 | 可燃气体 | |
| UN NO. | UN2810 | |
| CAS No. | 593-53-3 | |
| CGA/DISS/JIS | 350/724/W22-14L | |
| 运输状态 | 液化性气体 | |
| 技术信息 | ||
| 钢瓶状况 @ 21.1°C | 液体 | |
| 在空气中的燃烧极限 | ||
| 自然温度 (°C ) | -18 | |
| 分子量 (g/mol) | 34.03 | |
| 比重 ( 空气 =1) | 1.18 | |
| 临界温度 ( °C ) | 45 | |
| 临界温度 ( psig ) | ||
| 应用 | ||
| 在半导体制造中，一氟甲烷是硅化合物薄膜的等离子刻蚀气体。 | ||