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聚焦于高纯气体，稳定同位素，金属化合物和高纯化学品等化工新材料的供应和销售
1,3-Hexafluorobutadiene-六氟丁二烯-(C4F6)
六氟-1,3-丁二烯_WECHEM_SH_MSDS.pdf 资料下载在标准环境温度和压力下，六氟丁二烯是一种无色无味的液化气体
| 规格 | |
| 纯度，% | 99.9 |
| 氩气 + 氧气 | ≤10 ppmv |
| 氮气 | ≤40 ppmv |
| 二氧化碳 | ≤20 ppmv |
| 一氧化碳 | ≤7 ppmv |
| 其他氟碳 | ≤700 ppmv |
| 氟化氢 | ≤10 ppmv |
| 运输 | |
| DOT 运输名称 | 液化性气体，有毒 ，可燃 |
| DOT 分类 | 2.1 , 2.3 |
| DOT 标签 | 液化性气体，有毒 ，可燃 |
| UN NO. | UN 3160 |
| CAS No. | 685-63-21 |
| CGA/DISS | 638 |
| 运输状态 | 液化性气体 |
| 技术信息 | |
| 钢瓶状况 @ 21.1°C | 液体 |
| 在空气中的燃烧极限 | |
| 自然温度 (°C ) | |
| 分子量 (g/mol) | 162.03 |
| 比重 ( 空气 =1) | |
| 临界温度 ( °C ) | 139.6 |
| 临界温度 ( psig ) | |
| 应用 | |
| 在LSI生产过程中所需要的下一代核心材料，用于最大限度地减少电路线宽度和深度。该干蚀刻气体用在微接触孔的蚀刻制程。对于基于CxFy化学公式的特殊气体，F/C 值越小，生产的CF2 基团越多。与C2F6 C3F8 相比，C4F6 的F/C 比值更小，产生的CF2 基团更多，这反过来，蚀刻氧化膜更多。因此，C4F6具有对氧化膜更高的选择性，并允许更均匀的蚀刻。 | |